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PVD真空鍍膜加工表面清潔的重要性

發(fā)布日期:2019-10-11 作者:正德 點(diǎn)擊:


     PVD真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要,直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進(jìn)入鍍膜室前一定要做到認(rèn)真的鍍前清潔處理,表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物,為了避免加工過程中造成的不良,PVD真空鍍膜加工廠家基本上可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。


     PVD真空鍍膜對(duì)經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在大氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔铩U婵斟兡ぜ庸?duì)于高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。

PVD真空鍍膜

     鍍膜厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來說,PVD真空鍍膜沒有任何障礙。


     鍍膜加工清除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工 作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求。空氣濕度大的地區(qū),除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部 件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須 采取擋油措施。


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